高速掃描電子顯微鏡 HEM6000

HEM6000是一款可實(shí)現跨尺度大規模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉系統、高壓樣品臺減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒(méi)式電磁復合物鏡等技術(shù)，實(shí)現了高速圖像采集和成像，同時(shí)保證了納米級分辨率。面向應用場(chǎng)景的自動(dòng)化操作流程設計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

核心技術(shù)

高速掃描電子顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢

高速自動(dòng)化

全自動(dòng)上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

低壓高分辨

樣品臺減速技術(shù)，實(shí)現低落點(diǎn)電壓，同時(shí)保證高分辨率

大場(chǎng)低畸變  

跟隨掃描場(chǎng)動(dòng)態(tài)變化的光軸，實(shí)現了更低的場(chǎng)邊緣畸變

應用領(lǐng)域

應用案例

大規模成像